不銹鋼高純高壓氣體過濾器_納米級氣體過濾器

• 恒歌高壓氣體專用過濾器、用于半導體制程中高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統。堅固的316L不銹鋼結構和50Mpa設計壓力以及相對較輕的重量相結合、兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物、保護系統免受污染、從而提升氣體質量、保障設備高效運行。濾芯可更換、維護簡便。

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