在半導(dǎo)體制造中，大宗氣體作為關(guān)鍵生產(chǎn)原料，其純度直接關(guān)系到晶圓制程的穩(wěn)定性與產(chǎn)品合格率。深圳恒歌專注半導(dǎo)體領(lǐng)域需求，推出供應(yīng)半導(dǎo)體大宗氣體終端晶圓制程工藝氣體全金屬氣體過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用設(shè)計，以全金屬結(jié)構(gòu)的可靠性與高效過濾性能，成為大宗氣體終端處理的核心設(shè)備。

這款全金屬氣體過濾器采用不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，不僅實現(xiàn)了快速排氣功能，滿足真空腔體快速放氣的生產(chǎn)節(jié)奏，更具備高達 0.003um 的過濾精度。在半導(dǎo)體大宗氣體傳輸與終端使用環(huán)節(jié)，即使微量的顆粒雜質(zhì)也可能附著在晶圓表面，導(dǎo)致電路缺陷或工藝失敗。而該過濾器能精準攔截氣體中的微小顆粒，有效防止微粒混入工藝腔體，從源頭保障大宗氣體的超純品質(zhì)，直接助力企業(yè)提高產(chǎn)品合格率。

產(chǎn)品采用整體 316L 不銹鋼打造的全金屬結(jié)構(gòu)，區(qū)別于傳統(tǒng)非金屬過濾器，具備更優(yōu)異的耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能，能輕松應(yīng)對半導(dǎo)體制造中各類工藝氣體(如惰性氣體、反應(yīng)性氣體等)的嚴苛工況，長期使用不易變形或損壞，大幅延長設(shè)備使用壽命。同時，獨特的結(jié)構(gòu)設(shè)計還能有效減少工藝腔體排氣時的湍流產(chǎn)生 —— 湍流不僅會破壞腔體內(nèi)部的穩(wěn)定環(huán)境，還可能吹起殘留顆粒或擾動硅片，影響制程精度，而該過濾器的平穩(wěn)氣流設(shè)計則徹底規(guī)避了這一風險。

為確保產(chǎn)品品質(zhì)與潔凈度，該過濾器全程在潔凈室環(huán)境內(nèi)完成制造、測試與包裝，每一臺設(shè)備均通過 100% 完整性測試和 100% 氨氣泄露檢測，杜絕任何潛在的泄漏隱患與品質(zhì)問題。針對不同半導(dǎo)體工廠的安裝空間與工藝需求，恒歌還提供定制化設(shè)計服務(wù)，讓設(shè)備能靈活適配各類終端布局，進一步提升使用便捷性與兼容性。

產(chǎn)品特點：

1、全金屬 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)：耐極端工況，耐用性更強

2、0.003um 高精度過濾：攔截微小顆粒，保障氣體超純

3、快速排氣設(shè)計：適配真空腔體放氣需求，提升效率

4、抑制湍流產(chǎn)生：維持氣流平穩(wěn)，保護工藝環(huán)境

5、雙重嚴格檢測：100% 完整性 + 氨氣泄露檢測，品質(zhì)可靠

作為半導(dǎo)體大宗氣體終端的關(guān)鍵過濾設(shè)備，深圳恒歌這款全金屬氣體過濾器，以 “高潔凈、高穩(wěn)定、高適配” 的核心優(yōu)勢，為晶圓制程工藝提供持續(xù)可靠的氣體保障，助力半導(dǎo)體企業(yè)實現(xiàn)更高效、更優(yōu)質(zhì)的生產(chǎn)。