實驗室超純氣體管道主要用于輸送電子級高純氣體(如高純氬氣、高純氦氣)，應用于半導體材料制備、微電子實驗等高端領域，氣體純度直接影響實驗樣品的性能和檢測結果。

使用過濾器的原因

即使是高純度氣源，在管道輸送過程中也可能受到微量微粒污染，這些污染物會導致半導體芯片缺陷、納米材料制備失敗，需通過超純過濾器實現極致凈化。

過濾器介紹

恒歌實驗室氣體管道超純過濾器采用 316L 不銹鋼全材打造，搭配 UHP 級濾芯，可清除 0.003μm 以上超細微粒，氣體凈化后純度達 99.9999%，安裝方式與實驗室標準管道完美適配。

過濾器特點

? 超純級過濾精度，滿足電子級氣體要求

? 低死體積設計，減少氣體殘留

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能優異

? 潔凈室環境生產，避免二次污染

? 100% 氨氣檢漏與完整性測試

產品應用

半導體實驗室、納米材料實驗室、微電子研發中心的超純氣體管道系統，適配各類高純惰性氣體和工藝氣體。