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KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。
在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應(yīng)用于半導體設(shè)備接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各類真空室(裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體)的通風，適合短時間內(nèi)傳遞大量氣體流的場合。
產(chǎn)品特點
●減少工藝腔體排氣時的湍流
●適用于多種工藝氣體
●潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
●100% 完整性測試通過
技術(shù)參數(shù)
| 濾芯材質(zhì) | 16L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體材質(zhì) | 316L不銹鋼 |
| 最大進氣壓力 | 6.89bar | 0-ring | 氟橡膠(可選) |
| 最大工作壓差 | 3bar | 工作壽命 | ≥100,000cycles |
| 最高操作溫度 | 100°C with 0-ring 400'C with no 0-ring | 下游潔凈度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um rate flow |
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